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日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计

简要描述:日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计特点
测量超过溅射过程的低真空区域而不牺牲超高真空侧的特性到
10 -7 Pa到10 Pa的宽压力测量范围
高响应模拟输出
压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性,也可用于过程压力控制

  • 产品型号:M-311HG-SP/RS
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-03-09
  • 访  问  量:135

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详细介绍

日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计M-311HG-SP/RS

 

特点

  1. 测量超过溅射过程的低真空区域而不牺牲超高真空侧的特性到
    10 -7 Pa到10 Pa的宽压力测量范围

  2. 高响应模拟输出
    压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性,也可用于过程压力控制

  3. 四种发光电流设定模式
    可以根据应用进行选择,例如在高压区域侧使用时的灯丝寿命改善

日本CANON-ANELVA佳能热阴极电离真空计

使用

  • 生产真空装置的压力测量

  • 半导体溅射装置的压力测量

  • 各种真空设备

规范

输入名称压力测量范围输入电压功耗模拟输出设定点接口I / O连接器电缆长度工作温度范围储存温度范围传感器 - 类型名称传感器材料(主要部分)尺寸(mm)法兰形状保护标准RoHS,CE标志
离子计
M-311 HG-SPM-311 HG-RS
1×10 -7至10 Pa
DC 20至28 V.
12 W
0至10 V.-
2点继电器输出
-RS485
Dsub-9(男)
200米(1毫米2
5至50°C
-20至70°C
微型BA测量仪(MG-2I系列)
灯丝:Y 2 O 3 / Ir,表壳:SUS 304
110×70×50
NW 16,NW 25,ICF 34,ICF 70
IP40
支持

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