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日本CANON-ANELVA佳能真空计

简要描述:日本CANON-ANELVA佳能真空计
类型测量压力范围准确度(Pa)重复性输入电压能量消耗模拟输出仪表识别电阻设定点接口I / O连接器电缆长度工作温度范围储存温度范围烘烤温度允许过载压力适用的皮拉尼传感器类型法兰形状传感器材料

  • 产品型号:M-351PG/M-351PG-SP/NW16/N
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-03-09
  • 访  问  量:167

产品分类

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详细介绍

日本CANON-ANELVA佳能真空计 

特征

  1. 提高耐腐蚀性
    使用镍丝

  2. 良好的重复性和低成本

  3. 从5×10 -2 Pa到大气压

应用

  • 半导体和电子器件制造设备
    干蚀刻设备,等离子CVD设备,LD-CVD设备

  • 食品和药品生产设备
    真空冷冻干燥,减压蒸馏,灭菌设备

产品规格

类型测量压力范围准确度(Pa)重复性输入电压能量消耗模拟输出仪表识别电阻设定点接口I / O连接器电缆长度工作温度范围储存温度范围烘烤温度允许过载压力适用的皮拉尼传感器类型法兰形状传感器材料
(主要部件)保护标准RoHS,CE标志日本CANON-ANELVA佳能真空计
M-351PG-SP 
(镍丝)(设定点型)
5×10 -2到1×10 5(Pa)
±50%:5×10 -2至1×10 -1
±15%:1×10 -1至1×10 4
±50%:1×10 4至1×10 5
±2%:1×10 -1至1×10 4 Pa
+14至30VDC
2W
0到10V
13KΩ(D-sub 5和9引脚之间)
2触点输出(1A 30V,DC)
-
D-sub 9针
200米(0.34毫米2)支持* 1
5至60℃
-20至70℃(未运行)
<+ 150℃(O型圈规格,仅测量头)
<+ 300℃(金属密封规格,仅测量头)
1MPa(限于接头形状,惰性气体,温度)
MP-2
NW16,NW25,1 / 8NPT
皮拉尼灯丝:镍
传感器管:不锈钢
入口端子绝缘体:Koval玻璃+ Al 2 O 3涂层
IP40
兼容


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